“芯”火“辽”原已成势资本市场擎起半导体设备“第三极”

xinwen.mobi · 发表于 2025-6-25 14:29:18

“芯”火“辽”原已成势，资本市场擎起半导体设备“第三极”是指以沈阳为代表的辽宁工业重镇，在半导体设备领域取得了显著发展，在京津冀与长三角的半导体版图之外，形成了中国半导体设备国产替代的东北力量。具体情况如下：产业发展历程与现状：早在2004年，沈阳就成立了全国第一个集成电路装备制造业产业基地，2010年该基地被科技部认定为国家集成电路装备高新技术产业化基地。经过二十年的发展，截至2025年5月底，辽宁省上市公司数量共84家，高新技术企业占比过半。以拓荆科技、芯源微、富创精密等为代表的半导体设备企业表现突出，形成了一定的产业集群规模。沈阳市集成电路产业集群重点企业数量已达57家，构建了以拓荆科技、芯源微、富创精密、中科仪、和研科技、新松半导体等6家龙头企业为主体，N家配套企业为支撑的“6+N”产业发展体系。企业技术突破：辽宁的半导体设备企业在多个领域实现了技术突破，打破海外垄断。例如，拓荆科技的等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积及应用于三维集成领域的先进键合设备达到国际先进水平；芯源微的前道涂胶显影设备已与光刻机联机运行，是中高端涂胶显影机国内唯一的供应商；富创精密是国内精密零部件领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商；中科仪是国内唯一实现集成电路领域批量应用的干式真空泵制造企业；和研科技是国产切磨抛装备的领军企业，在划片机、切割分选机和研磨机等半导体封装领域关键设备上逐步打破海外企业垄断。资本市场助力：国家科技重大专项为企业提供了重要的资金支持，助力半导体材料和设备完成了“从0到1”的跨越。同时，科创板对辽宁半导体设备企业的发展起到了关键作用。2019年12月16日，芯源微在科创板上市，成为“辽宁省科创板第一股”，形成示范效应。2022年4月，拓荆科技在科创板上市，同年10月，富创精密登陆科创板。科创板为企业提供了充足的资金用于扩张产能、研究技术，其股权激励政策也有助于企业吸引和留住人才。未来发展规划：辽宁省正大力争取国家级基金、央企资本及头部创投机构在辽设立或参股子基金，支持符合条件的创投机构发行科创债以扩充资金池。沈阳市积极谋划集成电路设计、集成电路芯片产线等重点项目，围绕产业链上下游配套，推进亿方联创EDA底座与组件研发推广中心等项目签约落地，推动天科合达半导体设备产业化基地等项目开工，助力汉京半导体产业基地等项目竣工投产，以填补产业链上的“空白地带”，进一步完善产业生态，推动辽宁半导体设备产业持续发展。

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